Esta linha de pesquisa visa desenvolver processos a plasma que possibilitem a obtenção de materiais dielétricos para aplicação em micro e nanotecnologia, tais como o carbono amorfo tipo-diamante (diamond-like carbon, DLC), carbeto de silício (SiC), dióxido de titânio (TiO2), etc. Estudar características elétricas, mecânicas, superficiais, ópticas e térmicas dos materiais de interesse obtidos ou modificados por técnicas assistidas a plasmas. Os materiais em estudo são de interesse a vários setores industriais, tais como aeronáutica, espacial, mecânica, micro e nanoeletrônica e bio-tecnologia.